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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心低溫物理設(shè)備探針臺CPX-VF低溫超導(dǎo)磁體探針臺

CPX-VF低溫超導(dǎo)磁體探針臺

產(chǎn)品簡介

Lake Shore的CPX-VF探針臺增加了±2.5T的超導(dǎo)磁體,可以進行C-V、I-V、微波和電光探測,以及平面外垂直場超導(dǎo)磁測量。研究人員可以使用CPX-VF進行霍爾效應(yīng)測量和測試磁輸運參數(shù)。CPX-VF 是Lake Shore探針臺中結(jié)合微波和磁場測量的優(yōu)秀探針臺之一。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2024-04-18
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:730
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Lake Shore的CPX-VF探針臺增加了±2.5T的超導(dǎo)磁體,可以進行C-V、I-V、微波和電光探測,以及平面外垂直場超導(dǎo)磁測量。研究人員可以使用CPX-VF進行霍爾效應(yīng)測量和測試磁輸運參數(shù)。CPX-VF 是Lake Shore探針臺中結(jié)合微波和磁場測量的優(yōu)秀探針臺之一。


CPX-VF在直徑達51mm(2英寸)的晶圓上實現(xiàn)真正的90°晶圓探測。樣品可在冷卻過程中保持較高溫度,降低了樣品冷凝的可能性,這是測量有機材料的關(guān)鍵要求。


CPX-VF使用液氦或液氮進行連續(xù)流制冷(使用超導(dǎo)磁體時必須使用液氦),其操作溫度范圍為4.2 K到400 K,使用低溫選件可將基礎(chǔ)低溫擴展到2 K。


主要特征:

 

√  溫度范圍4.3 K~400 K

√  可選低溫1.9 K

√  垂直磁場±2.5 T

√  最大2英寸(51 mm)樣品

√  樣品可面內(nèi)±5°旋轉(zhuǎn)

√  樣品振動<30 nm可選

√  90°探針樣品測量

√  霍爾效應(yīng)測試選件

√  超高真空選件

√  可定制真空腔聯(lián)用轉(zhuǎn)移樣品,避免樣品暴露在大氣環(huán)境


設(shè)備參數(shù):


磁場
磁體類型超導(dǎo)螺線管
磁場方向垂直方向(垂直于樣品面)
磁場控制電流控制
磁場大小最大±25 KOe(±2.5 T)
磁場均勻性0.5% 10 mm直徑;1% 25 mm直徑
探針針尖移動<5μm 整個磁場范圍內(nèi)
溫度范圍
最多配置6個探針臂基礎(chǔ)溫度4.3 K,溫度控制范圍4.4 K ~ 400 K
安裝PS-LT低溫選件基礎(chǔ)溫度1.9 K,溫度控制范圍2 K ~ 400 K
溫度穩(wěn)定性液氦
基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制)±15 mK
<10 K±50 mK
10 K ~ 100 K±20 mK
101 K ~ 250 K±15 mK
251 K ~ 350 K±15 mK
351 K ~ 400 K±50 mK
真空以TPS-FRG分子泵為標(biāo)準(zhǔn)PS-HV-CPX選件
抽真空時間30 min (<1 × 10-3 Torr)10 min (<1 × 10-3 Torr)
室溫<5 × 10-4 Torr<5 × 10-6 Torr
基礎(chǔ)溫度<1 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr
最高溫度<5 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr
循環(huán)時間
總循環(huán)4 h
抽真空0.5 h
探針臺冷卻2 h
探針臺升溫1.5 h
樣品
最大尺寸51 mm(2英寸)
樣品背光接口不可選
樣品旋轉(zhuǎn)±5°樣品面內(nèi)旋轉(zhuǎn)
樣品振動<300 nm(標(biāo)準(zhǔn)),<30 nm(配置減震選件PS-PVIS)
探針配置
最大探針數(shù)6
探針臂溫度計用于監(jiān)視探針臂的溫度
冷卻探針支架<20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下)
探針支架連接磁體防輻射屏熱沉
探針臂支架連接防輻射屏熱沉
DC/RF探針電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量
微波探針頻率范圍從DC到67GHz
光纖探針可用于電光測量
落針范圍所有探針均可在直徑為 25.4 毫米(1 英寸)的圓內(nèi)落針


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