PVD薄膜制備

產(chǎn)品簡介

Moorfield公司近十年來與曼徹斯大學諾獎技術(shù)團隊緊密合作，推出的PVD薄膜制備系列產(chǎn)品由于其體積小巧、性能越、易于操作更是受到很多科研單位的贊譽。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2024-04-18

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

材料制備/樣品合成

單晶爐薄膜、顆粒、膠體等制備爐子（燒結(jié)爐、電弧爐等）納米直寫、光刻設備

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Moorfield Nanotechnology是英國材料科學域高性能儀器研發(fā)公司，成立25年來注于高質(zhì)量的薄膜生長與加工技術(shù)，擁有雄厚的技術(shù)實力，推出的多種高性能設備受到科研與工業(yè)域的廣泛好評。Moorfield公司近十年來與曼徹斯大學諾獎技術(shù)團隊緊密合作，推出的PVD薄膜制備系列產(chǎn)品由于其體積小巧、性能越、易于操作更是受到很多科研單位的贊譽。

Moorfield Nanotechnology推出的臺式設備體積小巧，但性能已經(jīng)可以和大型設備相媲美。這些設備已經(jīng)進入了歐洲的實驗室，諸如曼徹斯大學、劍橋大學、帝國理工學院、諾森比亞大學、巴斯大學、?？巳髮W、倫敦瑪麗女·王大學、哈德斯菲爾德大學、萊頓大學、亞森工業(yè)大學、西班牙光子科學研究所、英國國家物理實驗室等著名單位都是Moorfield Nanotechnology的用戶和長期合作者。諸多的用戶與合作者讓產(chǎn)品的性能和設計理念得到了高速發(fā)展。

如今Quantum Design中國子公司與Moorfield Nanotechnology正式合作，將為中國用戶提供高性能的設備與質(zhì)的服務。除了臺式設備之外我們還提供多種大型設備和定制服務。全系列產(chǎn)品即將上線，敬請期待……

臺式高性能CVD石墨烯/碳納米管快速制備系列—nanoCVD

快速高質(zhì)量石墨烯生長設備，整個過程30分鐘內(nèi)搞定！

CVD被*為是石墨烯具有應用前景的制備手段。NanoCVD系列臺式設備是為制備高質(zhì)量的石墨烯與碳納米管而開發(fā)的高性能臺式CVD系統(tǒng)。與曼徹斯大學諾獎團隊的長期合作使得該系列產(chǎn)品在制備石墨烯等碳基納米材料方面具有雄厚的技術(shù)積累。該系列產(chǎn)品操作簡便，生長條件控制準確，生長迅速、制備出的樣品具有高質(zhì)量、高可重復性，可清楚的觀測到分數(shù)量子霍爾效應。尤其適合于需要快速得到高質(zhì)量石墨烯或碳納米管用于學術(shù)研究的團隊。

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臺式高性能多功能PVD系列—nanoPVD

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基于多年大型PVD薄膜制備系統(tǒng)的設計與研發(fā)所積累的豐富經(jīng)驗，Moorfield Nanotechnology推出了臺式高性能多功能PVD系列產(chǎn)品。該系列產(chǎn)品是為高水平學術(shù)研究研發(fā)的小型物理氣相沉積設備。該系列產(chǎn)品包含磁控濺射、金屬/機物熱蒸發(fā)系統(tǒng)。這些設備雖然體積小巧但是性能越，能夠快速實現(xiàn)高質(zhì)量納米薄膜、異質(zhì)結(jié)的制備，通常在大型設備中才有的共濺射功能也可以在該系列產(chǎn)品上實現(xiàn)。便捷的操作、智能的控制、高效的制備效率讓您的學術(shù)研究進入快車道。

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臺式超準確二維材料等離子軟刻蝕系統(tǒng)—nanoETCH

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石墨烯等二維材料的微納加工與刻蝕需要很高的精度，而目前成熟的傳統(tǒng)半導體刻蝕系統(tǒng)在面對單層材料的高精度刻蝕需求時顯得力不從心。為了解決目前維納加工中常用的蝕系統(tǒng)功率較大、難以精細控制的問題，Moorfield Nanotechnology 推出了臺式超準確二維材料等離子軟刻蝕系統(tǒng)- nanoETCH。該系統(tǒng)對輸出功率的分辨率可到達毫瓦量，對二維材料可實現(xiàn)準確的逐層刻蝕，也可實現(xiàn)對二維材料進行層內(nèi)缺陷制造，此外還可對石墨基材等進行表面處理。

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臺式準確氣氛壓力控制高溫退火系統(tǒng)—ANNEAL

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Moorfield Nanotechnology門為制備高質(zhì)量的樣品而推出的臺式準確氣氛壓力控制高溫退火系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以滿足從高真空到各種氣氛的退火需求。對氣壓和溫度都能進行準確控制，該系統(tǒng)不僅僅是普通的退火系統(tǒng)更是二維材料、基片等進行準確可控熱處理的重要保障。該系統(tǒng)顛·覆了傳統(tǒng)箱式、管式爐的粗放退火方式，開創(chuàng)了準確退火的新篇章。

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多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM

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多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM是Moorfield Nanotechnology為SEM、TEM樣品的表面導電處理以及普通樣品的高質(zhì)量電生長而設計的金屬濺射系統(tǒng)。系統(tǒng)配備SEM樣品托、TEM樣品網(wǎng)、普通薄膜樣品等多種樣品臺。雖然該系統(tǒng)主要為濺射金屬而設計，但是該設備的性能已經(jīng)達到了高質(zhì)量薄膜樣品的制備標準。通過選擇不同的配置可以兼顧樣品的表面導電處理、電制備與學術(shù)研究型薄膜樣品的制備。因此nanoEM是臺*的多功能高磁控濺射噴金儀。

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用戶單位

部分單位及用戶評價

意大比薩大學（nanoPVD S10A）

Moorfield近在意大比薩大學安裝了另臺nanoPVD-S10A磁控濺射系統(tǒng)。在這里，它將被Giuseppe Barillaro副教授的團隊用于為新型器件生長保護性和功能性涂層。該小組的研究應用包括納米醫(yī)學、生物傳感、微電子學和光子學。

諾森比亞大學（nanoPVD S10A，MiniLab）

DR. GUILLAUME ZOPPI對Moorfield的評價：

在諾森比亞大學，我們正在研究各種材料的·進應用，別是光伏材料。作為*的部分，Moorfield近安裝的用于磁控濺射和電子束蒸發(fā)的nanoPVD和MiniLab系統(tǒng)發(fā)揮了關(guān)鍵作用。Moorfield家的業(yè)建議確保了我們得到合適的設備，我們對設備的質(zhì)量和快速、高效的技術(shù)支持留下了深刻的印象。很高興能和Moorfield的團隊起工作。

巴斯大學（nanoPVD-T15A）

DR. PETRA CAMERON對Moorfield的評價：

我們的研究重點是電化學材料、能源材料和鈣鈦礦光伏材料。我們之前直在尋找個可靠且易于使用的臺式蒸發(fā)設備?，F(xiàn)在，我們新的Moorfield nanoPVD-T15A熱蒸發(fā)系統(tǒng)可以高質(zhì)量的沉積金屬電和鈣鈦礦光伏材料的接觸層。讓我們喜歡的另方面是，該系統(tǒng)是模塊化的，可以很容易地升低溫有機物蒸發(fā)模塊。我們的nanoPVD-T15A已經(jīng)迅速成為個關(guān)鍵設備，現(xiàn)在每天都在使用。

DR MATTHEW COLE（副教授）對Moorfield的評價：

Moorfield的服務速度快如閃電。他們的產(chǎn)品支持是完·美的。

丹麥技術(shù)大學（MiniLab090手套箱集成系統(tǒng)）

為了滿足Tim Booth在二維材料和異質(zhì)結(jié)的合成和應用研究，系統(tǒng)在MiniLab090的基礎上集成了手套箱，允許在惰性氣體環(huán)境下進行完整的設備操作。系統(tǒng)配置包括軟刻蝕、熱蒸發(fā)和磁控濺射。

Tim Booth教授對Moorfield的評價：

在DTU，我們近從Moorfield采購了套手套箱集成系統(tǒng)，系統(tǒng)配置包括軟蝕刻系統(tǒng)、熱蒸發(fā)和磁控濺射功能，用于我們研究二維材料和異質(zhì)結(jié)的合成和應用。該系統(tǒng)允許我們在高精度控制的低氧和水氣條件下執(zhí)行2D材料器件的大部分微加工步驟。

Moorfield團隊在設計和安裝過程中至關(guān)重要并且非常業(yè)，如果有任何疑問，他們總是可以立即提供技術(shù)支持。他們在提供2D材料技術(shù)支持方面有多年的經(jīng)驗，所以我們知道我們有了得力的助手。系統(tǒng)的高質(zhì)量設計方案讓我們印象深刻，我們期待著在未來的許多年里與設備和Moorfield團隊起工作。強烈推薦!"

MiniLab090手套箱集成系統(tǒng)，圖中紅色部分為集成系統(tǒng)的控制屏幕和主機部分。

曼徹斯大學（手套箱集成退火和刻蝕系統(tǒng)）

DR. ROMAN GORBACHEV對Moorfield的評價：

我的團隊近與Moorfield合作，為我們的應用方向定制了個集成手套箱的熱退火和軟蝕刻組合系統(tǒng)。它安裝于新的National Graphene Institute (NGI)，現(xiàn)在被用于石墨烯和2D材料的研究。我們直對Moorfield的業(yè)技術(shù)和提高客戶滿意度的奉獻印象深刻，這次也不例外！

西班牙光子研究所（手套箱集成退火和刻蝕系統(tǒng)）

位于西班牙巴塞羅那Castelldefels 的ICFO （光子科學研究所）是個致力于光學域科學和技術(shù)的研究中心。

DR. STIJN GOOSSENS對Moorfield的評價：

在ICFO，我們正在努力建立個新材料研究中心。近安裝的Moorfield 手套箱集成熱退火系統(tǒng)、電子束沉積系統(tǒng)，以及新的nanoETCH系統(tǒng)，起到了關(guān)鍵作用。我們對他們業(yè)的銷售建議、他們系統(tǒng)的質(zhì)量和可靠性以及他們快速、有效的支持印象深刻。很高興能和他們的團隊起工作！

Evonetix公司（MiniLab 026 熱蒸發(fā)系統(tǒng)）

Evonetix公司致力于用基因合成技術(shù)，促進合成生物學域的快速發(fā)展。Evonetix的勢是基因合成的高保真性和并行性。

DR. DAN BRATTON PH.D對Moorfield的評價：

在Evonetix，我們正在開創(chuàng)種可擴展和高保真基因合成的創(chuàng)新方法。我們想擁有種將金屬蒸發(fā)到各種基材上的設備，我們聯(lián)系了Moorfield Nanotechnology公司，該公司根據(jù)我們的要求定制了個Minilab 026蒸發(fā)系統(tǒng)。在整個過程中，Moorfield Nanotechnology團隊非常友好且知識淵博，在安裝前后都提供現(xiàn)場培訓。在Evonetix, Minilab 026已經(jīng)被證明是非常有用的設備。別是，我們喜歡它的緊湊設計，它的易用性，以及它所帶來的樣品數(shù)量的增加。我們愿意向任何人推薦該設備和團隊。

Evonetix團隊與新安裝的MiniLab026熱蒸發(fā)系統(tǒng)

曼徹斯城市大學（MiniLab 060）

DR. JUSTYNA KULCZYK對Moorfield的評價：

在MMU，我們近成立了曼徹斯燃料電池創(chuàng)新中心，以開發(fā)用可再生能源的創(chuàng)新技術(shù)方案。為此，我們采購了Moorfield MiniLab 060磁控濺射系統(tǒng)，該系統(tǒng)具有快速進樣室、襯底偏壓和等離子清洗、脈沖直流和射頻電源以及共沉積功能。在系統(tǒng)設計過程中，Moorfield提供了非常寶貴的建議。我們對系統(tǒng)和軟件的質(zhì)量，以及他們團隊的業(yè)知識、溝通和技術(shù)支持都留下了深刻的印象。我們將推薦給任何現(xiàn)在或?qū)砜紤]使用PVD系統(tǒng)的人。